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【2h】

Wafer-level vacuum-encapsulated ultra-low voltage tuning fork MEMS resonator

机译：晶圆级真空封装的超低电压调谐叉MEMS谐振器

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作者
Junjun Huan; George Xereas; Vamsy P. Chodavarapu;
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年度 2016
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原文格式 PDF
正文语种 eng
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