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【2h】

Deep Reactive Ion Etching of Z-Cut Alpha Quartz for MEMS Resonant Devices Fabrication

机译：用于MEMS谐振装置制造的Z-Cutα石英的深反应离子蚀刻

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Bo Li; Cun Li; Yulong Zhao; Chao Han; Quanwei Zhang;
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年度 2020
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