机译:射频溅射制备锌掺杂二氧化锡薄膜中氢和乙醇的传感器性能评价
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:氢对Ar + H_2气氛中RF磁控溅射制备ZnO和Co掺杂ZnO薄膜的结构和物理性能的影响
机译:溅射气压和衬底温度对射频磁控溅射制备ZnO:Al薄膜光学性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:射频溅射制备的GdBa2Cu3O7-δ薄膜的微观结构和应力依赖性
机译:快速热退火对RF磁控溅射技术制造ZNS薄膜结构和光学性质的影响