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【2h】

The Analysis of the Influence of Threshold on the Dynamic Contact Process of a Fabricated Vertically Driven MEMS Inertial Switch

机译：阈值对垂直驱动MEMS惯性开关的动态接触过程的影响分析

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作者
Wenguo Chen; Rui Wang; Huiying Wang; Dejian Kong; Shulei Sun;
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年度 2019
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