机译:通过飞行时间控制的放电和横向燃料喷射延长了极紫外光(在13.5 nm处)的发射
机译:通过同轴燃油喷射进行的飞行时间控制放电可产生高亮度的极紫外光(在13.5 nm处)
机译:13.5 nm的高温锂金属蒸气毛细管放电极紫外光源
机译:氨基硅烷作为硅烷化剂,用于干法开发的用于深紫外(248 nm)和远紫外(13.5 nm)微光刻的正性抗蚀剂
机译:激光产生的Sn等离子体的主要13.5 nm带内极紫外发射区的动力学和操纵。
机译:使用柴油机的可行性脂肪酸馏出物乙酯 - 含水乙醇混合物在未修饰中混合直喷式柴油发动机:稳定性评估燃料特性和排放
机译:用于极紫外光刻的紧凑型13.5nm自由电子激光器
机译:用于干式显影正极性抗蚀剂的高硅含量甲硅烷基化试剂,适用于极紫外(13.5 nm)和深紫外(248 nm)微光刻