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Local Stress Assessment in Patterned Interlayer Dielectric Films using Cathodoluminescence Spectroscopy

机译：使用阴极发光光谱法在图案化层间介电膜中的局部应力评估

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作者
S Kakinuma; M Kodera; K Nishikata; J Aoyama; Y Saijo; G Pezzotti;
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年度 2006
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