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机译:基于Mueller矩阵椭圆偏振光谱的光学临界尺寸计量学的28 nm间距硅鳍片的灵敏度分析和线边缘粗糙度确定
机译:使用高压CD-SEM的EUV抗蚀剂的CD计量:收缩率,图像清晰度,可重复性和线条边缘粗糙度
机译:使用临界尺寸小角度X射线散射的EUV光刻横截面和线边缘粗糙度计量 - (PPT)
机译:半导体线边缘粗糙度的扫描探针计量。
机译:CD28-CD80 / CD86协同刺激通路对克氏锥虫感染的保护作用的关键贡献
机译:使用穆勒基矩阵光谱椭圆形测定法测定28纳米间距硅翅片的敏感性分析和线边缘粗糙度测定光学关键尺寸计量