机译:等离子体增强化学气相沉积氧化硅对GaN表面的钝化作用
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:等离子增强化学气相沉积法沉积非晶硅碳化硅对晶体硅表面钝化的研究
机译:通过表面波等离子体进行氮化硅膜的化学气相沉积,用于AlGaN / GaN装置的表面钝化
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:使用电纺PVP纳米纤维模板的等离子体增强化学气相沉积法制备对准的超长和可控直径的氧化硅纳米管
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积生长保形氢化非晶硅层的有效钝化黑色硅表面