机译:第11组原子层沉积前体:通过热解中的研究设计和合成晚期前体的设计和合成
机译:用原子层沉积的ZnO薄膜沉积新型锌前体的合成与表征
机译:第11族的表面化学原子层沉积前体使用固态核磁共振光谱法
机译:使用高级茂金属前驱体和H2O作为氧源的HfO2和ZrO2原子层沉积
机译:以TEMAV为前体原子层沉积合成VO_2薄膜。
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:通过钙和Am之间的氧化还原反应合成用于原子层沉积的氨基甲酸钙(II)前体
机译:薄膜前体,性质和应用:4,11和13个元素及其氧化物的化学气相沉积和原子层沉积