Development of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow Controller

机译：开发抗腐蚀综合质量流量控制器

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Kaoru Hirata; Dong-Youn Sim; Masayoshi Esashi;
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年度 2001
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1. Development of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow Controller [J] . Kaoru Hirata, Dong-Youn Sim, Masayoshi Esashi 電気学会論文誌. E . 2001,第2期

机译：防腐蚀集成质量流量控制器的开发
2. Stainless steel-based integrated mass-flow controller for reactive and corrosive gases [J] . Hirata K., Esashi M. Sensors and Actuators, A. Physical . 2002,第0期

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3. Development and characterization of a time-based, mass flow controller [J] . G. L. Quarini, T. Chinarak, Y. C. Chang Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part E. Journal of Process Mechanical Engineering . 2007,第e4期

机译：基于时间的质量流量控制器的开发和表征
4. Anti-corrosive integrated mass-flow controller for advanced semiconductor processes [C] . Kaoru Hirata, Masayoshi Esashi Sensor Symposium . 2001

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5. A thermopneumatically-actuated silicon microvalve and integrated microflow controller. [D] . Rich, Collin A. 2000

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6. Development of temperature controller-integrated portable HIFU driver for thermal coagulation [O] . Suhyun Park, Ngot Thi Pham, Huu-Toan Huynh, 2019

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8. Development Report, Mass Flow Controller Pn 5716068 [R] . Taylor, W. 1972

机译：开发报告，质量流量控制器pn 5716068

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