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【2h】

Kinetic analysis of the chemical processes in the decomposition of gaseous dielectrics by a non-equilibrium plasma - part 1: CF4 and CF4/O2

机译：非平衡等离子体分解气相电介质分解中的化学过程的动力学分析 - 第1部分：CF4和CF4 / O2

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Glauco F. Bauerfeldt; Graciela Arbilla;
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年度 2000
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