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机译:用于生物医学可植入设备的原子层沉积氧化铝和聚对二甲苯C双层封装
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机译:在SiO2,TiO2,Al2O3和HFO2的等离子体辅助原子层沉积过程中膜胶合性和o原子的重组概率
机译:al2O3原子层沉积涂层保护聚合物免受原子氧侵蚀