Plasma surface cleaning in a microwave plasma source

机译：微波等离子体源中的等离子体表面清洁

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C.C. Tsai; W.D. Nelson; H.H. Haselton; D.E. Schechter; L.M. Thompson; V.B. Campbell; A.L. Glover; J.M. Googin;
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年度 1994
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