Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells

机译：通过内联PECVD用于黑色硅太阳能电池的氮化硅膜

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Bangwu Liu; Sihua Zhong; Jinhu Liu; Yang Xia; Chaobo Li;
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年度 2012
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1. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells [J] . Bangwu Liu, Sihua Zhong, Jinhu Liu, International Journal of Photoenergy . 2012,第Pta4期

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2. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells [J] . Bangwu Liu, Sihua Zhong, Jinhu Liu, International Journal of Photoenergy . 2012,第Pta5期

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3. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells [J] . BangwuLiu, SihuaZhong, JinhuLiu, International Journal of Photoenergy . 2012,第1期

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4. IMPROVEMENTS ON INLINE PLASMA TECHNOLOGY FOR THE DEPOSITION OF SILICON NITRIDE FILMS FOR PASSIVATION PURPOSES ON CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELLS [C] . K. Roth, F. Chen, M. Fritzsche, European Photovoltaic Solar Energy Conference; 20060904-08; Dresden(DE) . 2006

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