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【2h】

Formation mechanism and compensation methods of profile error in focused ion beam milling of three-dimensional optical microstructures

机译：三维光学微观结构聚焦离子梁铣削概念的形成机制和补偿方法

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Xiao Chen; Zhenzhou Ren; Yan Zhu; Yixing Wang; Jianguo Zhang; Xuefang Wang; Jianfeng Xu;
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年度 2020
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1. Formation mechanism and compensation methods of profile error in focused ion beam milling of three‑dimensional optical microstructures [J] . Xiao Chen, Zhenzhou Ren, Yan Zhu, SN Applied Sciences . 2020,第4期

机译：三维光学微结构聚焦离子束铣削中轮廓误差的形成机理和补偿方法
2. A predictive divergence compensation approach for the fabrication of three-dimensional microstructures using focused ion beam machining [J] . J. Sun, X. Luo, J. Ritchie, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B. Journal of engineering manufacture . 2012,第2期

机译：使用聚焦离子束加工制造三维微结构的预测性发散补偿方法
3. Investigation of slice thickness and shape milled by a focused ion beam for three-dimensional reconstruction of microstructures [J] . H.G.Jones, K.P. Mingard, D.C. Cox Ultramicroscopy . 2014,第Null期

机译：聚焦离子束铣削的薄片厚度和形状用于微观结构三维重建的研究
4. A Method to Improve Fabrication Accuracy of Three-Dimensional Microstructures in Focused Ion Beam Bitmap Milling [C] . Tian Han, Yan Xing, Chen Fang, IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2021

机译：一种提高聚焦离子束位图铣削中三维微结构制造精度的方法
5. Focused ion beam milling of optical fiber microstructures for sensing applications [D] . André, Ricardo Melo. 2017

机译：光纤微结构的聚焦离子束铣削，用于传感应用
6. Dual focused coherent beams for three-dimensional optical trapping and continuous rotation of metallic nanostructures [O] . Xiaohao Xu, Chang Cheng, Yao Zhang, -1

机译：双聚焦相干光束用于金属纳米结构的三维光学捕获和连续旋转
7. Three-dimensional patterning in polymer optical waveguides using focused ion beam milling [O] . Kevin Kruse, Derek Burrell, Christopher Middlebrook 2016

机译：使用聚焦离子束铣削聚合物光波导的三维图案化

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