机译:干燥空气中电容耦合(13.56MHz)射频放电的电子能量分布功能的研究
机译:关于寄生电容在13.56 MHz时氩/大气压电容耦合射频介电势垒放电的特性
机译:低压射频碰撞电容耦合放电的快速建模以及非麦克斯韦电子分布函数的形成研究
机译:电容耦合射频放电中外部电子束对电子能量概率函数的调制
机译:在工业双频电容耦合射频放电中空间和相位分辨的电子能量分布函数
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:低温(13.56 MHz)等离子体放电沉积的SiGe:H合金中使用H稀释终止Si和Ge原子的研究
机译:关于寄生电容在13.56 MHz时氩/大气压电容耦合射频介电势垒放电的特性
机译:射频(13.56 mHz)能量增强温和低温的复温。