首页> 外文OA文献 >Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH-=SUB=-4-=/SUB=--Ar-O-=SUB=-2-=/SUB=-)-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO-=SUB=-x-=/SUB=-:H (C-=SUB=-O-=SUB=-2-=/SUB=--=/SUB=-=15.5 мол#37;)
【2h】

Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH-=SUB=-4-=/SUB=--Ar-O-=SUB=-2-=/SUB=-)-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO-=SUB=-x-=/SUB=-:H (C-=SUB=-O-=SUB=-2-=/SUB=--=/SUB=-=15.5 мол#37;)

机译:研究调制直流等离子体C的时间特征的效果(SiH- = Sub = -4 - = / sub = -AR-O- = sub = -2 - = / sub = - ) - 生长的气相在矩阵A中的NCL-SI - siO- = sub = -x - = / sub = - :h(c-= sub = -o-= sub = -2 - = / sub = - = / sub = - = 15.5 mol%)

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