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Calibration of Capacitance Diaphragm Gauges with 1333 Pa full scale by Direct Comparison to Resonant Silicon Gauge and Static Expansion System

机译：通过直接比较与谐振硅量表和静态膨胀系统直接比较，具有1333Pa的电容隔膜仪校准

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作者
Hajime Yoshida; E. Komatsu; K. Arai; M. Kojima; H. Akimichi; T. Kobata;
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年度 2014
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