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Detection of Arsenic Dopant Atoms in Silicon Crystal by Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

机译：通过像差校正扫描透射电子显微镜检测硅晶体中的砷掺杂剂原子

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Y Oshima; Y Hashimoto; H Sawada; N Hashikawa; K Asayama; Y Kondo; Y Tanishiro; K Takayanagi;
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年度 2009
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