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【2h】

O2/N2 Plasma Etching of Acrylic in a Multi-layers Electrode RIE System

机译：O2 / N2在多层电极RIE系统中的丙烯酸等离子体蚀刻

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Jae-Kwon Kim; Ju-Hyeong Kim; Yeon-Hyun Park; Young-Woo Joo; In-Kyeu Baek; Guan-Sik Cho; Han-Jung Song; Je-Won Lee;
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年度 2007
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