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A radiation-tolerant, low-power non-volatile memory based on silicon nanocrystal quantum dots

机译:基于硅纳米晶体量子点的耐辐射,低功耗非易失性存储器

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摘要

Nanocrystal nonvolatile floating-gate memories are a good candidate for space applications - initial results suggest they are fast, more reliable and consume less power than conventional floating gate memories. In the nanocrystal based NVM device, charge is not stored on a continuous polysilicon layer (so-called floating gate), but instead on a layer of discrete nanocrystals. Charge injection and storage in dense arrays of silicon nanocrystals in SiO_2 is a critical aspect of the performance of potential nanocrystal flash memory structures. The ultimate goal for this class of devices is few- or single-electron storage in a small number of nanocrystal elements. In addition, the nanocrystal layer fabrication technique should be simple, 8-inch wafer compatible and well controlled.
机译:纳米晶体非易失性浮栅存储器是空间应用的理想选择-初步结果表明,它们比传统的浮栅存储器更快,更可靠并且功耗更低。在基于纳米晶体的NVM器件中,电荷不存储在连续的多晶硅层(所谓的浮栅)上,而是存储在离散的纳米晶体层上。 SiO_2中硅纳米晶体的密集阵列中的电荷注入和存储是潜在纳米晶体闪存结构性能的关键方面。这类设备的最终目标是在少数纳米晶体元件中存储很少或单个电子。另外,纳米晶体层的制造技术应该是简单的,与8英寸晶圆兼容并且受到良好控制的。

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