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【2h】

Sensitivity Analysis of Single-Drive, 3-axis MEMS Gyroscope Using COMSOL Multiphysics

机译：用COMSOL多发性的单次驱动，3轴MEMS陀螺仪的敏感性分析

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Hussamud Din; Faisal Iqbal; Byeungleul Lee;
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年度 2020
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