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Fabrication of high-density nanostructures by electron beam lithography

机译：电子束光刻技术制备高密度纳米结构

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作者
Dial O.; Cheng C. C.; Scherer A.;
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作者单位

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年度 1998
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原文格式 PDF
正文语种 {"code":"en","name":"English","id":9}
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