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机译:在4H-SIC上生长的ALN薄膜的高温退火
F. Brunner; L. Cancellara; S. Hagedorn; M. Albrecht; M. Weyers;
机译:高温退火对生长的半绝缘4H SIC缺陷和杂质的影响
机译:高温退火诱导在蓝宝石衬底上生长的AlN外延膜中的应变演化
机译:在氮气和氩气气氛中退火的4H SiC AlN退火盖的比较
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机译:一氧化氮后氧化退火对高温氧化4H SiC的影响。
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机译:(SiC) 1-x Sub>(AlN) x Sub>解决方案获得表观薄膜的方法
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