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【2h】

Surface Analysis of TMCTS-Based SiOC(H) Low-k Dielectrics in Post-Etch Strip of ACL Hardmask

机译：ACL硬掩模后蚀刻条带中TMCTS的SIOC（H）低k电介质的表面分析

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Min Kyu Park; Wan Soo Song; Min Ho Kim; Sang Jeen Hong;
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年度 2021
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