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Electron Beam Lithography Fabrication of SU-8 Polymer Structures for Cell Studies

机译：电子束光刻制造SU-8聚合物结构用于细胞研究

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Jakob Vinje; Kai S. Beckwith; Pawel Sikorski;
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年度 2020
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1. Electron Beam Lithography Fabrication of SU-8 Polymer Structures for Cell Studies [J] . Vinje Jakob, Beckwith Kai S., Sikorski Pawel Journal of Microelectromechanical Systems . 2020,第2期

机译：电子束光刻制造SU-8聚合物结构用于细胞研究
2. 3D STRUCTURES FORMATION IN A SINGLE LAYER SU-8 CAR USING DUAL UV AND ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY [J] . V. A. KUDRYASHOV, X-C. YUAN, T. L. TAN, International Journal of Computational Engineering Science(IJCES) . 2003,第3期

机译：使用双层UV和电子束光刻技术在单层SU-8轿车中形成3D结构
3. Study of the fabrication of PHEMTs for a 0.1 μm scale Γ-gate using electron beam lithography: structure, fabrication, and characteristics [J] . Hae-Sung Kim, Byeong-Ok Lim, Sung-Chan Kim Microelectronic Engineering . 2002,第4期

机译：使用电子束光刻技术研究尺寸为0.1μm的Γ门的PHEMT的结构，制造和特性
4. 3D fabrication of waveguide and grating coupler in SU-8 by optimized gray scale electron beam lithography [C] . 2010 Asia Communications and Photonics Conference and Exhibition . 2010

机译：通过优化的灰度电子束光刻技术在SU-8中3D制作波导和光栅耦合器
5. Electron beam induced conductivity effect of polymer resists and charging induced electron beam deflection simulation in electron beam lithography. [D] . Hwu, Justin Jia-Jen. 2000

机译：聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
6. Fabrication of Poly(ethylene glycol) Hydrogel Structures for Pharmaceutical Applications using Electron beam and Optical Lithography [O] . Misuk Bae, Ralu Divan, Kamlesh J. Suthar, -1

机译：电子束和光学光刻技术在医药领域的聚乙二醇水凝胶结构的制备
7. Modification of Polymer Surfaces and the Fabrication of Submicron‐scale Functionalized Structures by Deep‐ultraviolet and Electron‐beam Lithography [O] . Wybourne M. N. 2014

机译：深紫外和电子束光刻技术对聚合物表面的改性和亚微米级功能化结构的制造
8. Modification of Polymer Surfaces and the Fabrication of Submicron-ScaleFunctionalized Structures by Deep-UV and Electron Beam Lithography [R] . Wybourne, M. N., Wu, J. C., Yan, M., 1993

机译：聚合物表面的改性及亚微米级功能化结构的深紫外和电子束光刻制备

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