Pembangunan bahan fotopeka silika terdop fosforus untuk fabrikasi pandu gelombang optik (Development of phosphorus doped silica photosensitive material for optical waveguide fabrication)

摘要

Kajian ini dijalankan untuk membangunkan pandu gelombang optik menggunakan bahan fotopeka silika terdop fosforus. Teknik penyalutan mejam menggunakan sumber berbentuk cecair iaitu tetraetil ortosilikat, asid fosforik dan juga PBF untuk menghasilkan pandu gelombang fotopeka silika terdop fosforus dan boron. Pada ketebalan antara 1 μm hingga 8 μm, modulasi indeks biasan yang ditunjukkan di dalam bahan fotopeka silika terdop fosforon-boron adala 1×10-14 pada ketebalan 3 μm hingga 8 μm. Semua ujian dan rawatan fotopeka dilakukan dengan menggunakan sumber UV 366 nm, 0.369 mW/cm2 pada kadar denyutan 50 Hz. Semua sampel menunjukkan penurunan nilai indeks di bawah dedahan ini. Tempoh dedahan yang diperlukan dengan menggunakan kuasa UV yang berkenaan adalah kira-kira 10 minit. Dengan menggunakan penyurih laser ArF atau KrF yang berkuasa 10 mW misalnya, tempoh dedahan yang diperlukan adalah cuma 20 hingga 30 saat untuk mengubah indeks biasan pandu gelombang. Selain daripada itu, proses pemampasan juga dimasukkan yang bertujuan untuk memperbetulkan semula prestasi akibat daripada kesan toleransi semasa proses simulasi. Bagi memberikan kecekapan dalam pengukuran indeks biasan dan ketebalan lapisan BPSG, satu program antara muka penggunaan grafik dibangunkan untuk mempercepatkan dan meningkatkan kejituan bacaan yang diukur daripada pengganding prisma manual.