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【2h】

SELF-ALIGNMENT TECHNIQUE OF SURFACE-MICROMACHINED OPTICAL SWITCHES TO BULK-MICROMACHINED V-GROOVES

机译：表面微机械光开关的自对准技术与散装微机械的V形槽

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作者
Daisuke Miyauchi; Hiroshi Toshiyoshi; Hiroyuki Fujita;
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年度 1999
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