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Stability studies of ZnO and AlN thin film acoustic wave devices in acid and alkali harsh environments

机译：ZnO和AlN薄膜声波装置在酸和碱恶劣环境中的稳定性研究

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Shuo Xiong; Xudong Liu; Jian Zhou; Yi Liu; Yiping Shen; Xiaobo Yin; Jianhui Wu; Ran Tao; Yongqing Fu; Huigao Duan;
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年度 2020
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