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【2h】

Effect of Temperature on Static Friction Characteristics for Silicon Wafer/Silicon Wafer Contact

机译：温度对硅晶片/硅晶片接触的静摩擦特性的影响

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作者
Shigeru Watanabe; Masafumi Suzuki; Noboru Yoshimura; Hiroyuki Fujita;
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作者单位

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年度 1994
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