Metal assisted photochemical etching of 4H silicon carbide

机译：金属辅助光化学蚀刻4h碳化硅

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Markus Leitgeb; Christopher Zellner; Michael Schneider; Stefan Schwab; Herbert Hutter; Ulrich Schmid;
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年度 2017
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机译：金属辅助光化学蚀刻4h碳化硅
2. Communication-The Role of the Metal-Semiconductor Junction in Pt-Assisted Photochemical Etching of Silicon Carbide [J] . Leitgeb Markus, Backes Andreas, Zellner Christopher, ECS Journal of Solid State Science and Technology . 2016,第3期

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3. A Combination of Metal Assisted Photochemical and Photoelectrochemical Etching for Tailored Porosification of 4H SiC Substrates [J] . Leitgeb Markus, Zellner Christopher, Schneider Michael, ECS Journal of Solid State Science and Technology . 2016,第10期

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