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机译:通过扫描热探针法对非接触式和接触式探针与样品之间的热交换进行分析,以定量测量薄膜和纳米结构的热导率。
机译:Å-压痕用于无损弹性模量测量支持的超硬超薄膜和纳米结构
机译:表面和界面分析的工业应用。 ESCA的超薄Si氧化膜厚度测量。
机译:用X射线衍射法测量薄膜厚度。