首页> 外文OA文献 >Low Temperature Copper-Copper Quasi-Di rect Bonding Utilizing Ultra-Thin Metal Interlayer Formation by Atomic Layer Deposition

【2h】

Low Temperature Copper-Copper Quasi-Di rect Bonding Utilizing Ultra-Thin Metal Interlayer Formation by Atomic Layer Deposition

机译：低温铜 - 铜Quasi-Di矩阵利用原子层沉积利用超薄金属层间形成

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Ami TEZUKA; Kosuke YAMADA; Alaric Yohei KAWAI; Hiroyuki KUWAE; Syuichi SHOJI; Wataru MOMOSE; Jun MIZUNO;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2020
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Modification of metal-InGaAs Schottky barrier behaviour by atomic layer deposition of ultra-thin Al2O3 interlayers [J] . Chauhan Lalit, Gupta Suman, Jaiswal Piyush, Thin Solid Films . 2015,第auga31期

机译：通过超薄Al2O3中间层的原子层沉积改性金属InGaAs肖特基势垒行为
2. Growth of rutile-TiO_2 thin films via Sn doping and insertion of ultra-thin SnO_2 interlayer by atomic layer deposition [J] . Lee Dong-Kwon, Kwon Se-Hun, Ahn Ji-Hoon Materials Letters . 2019,第JULa1期

机译：Sn掺杂生长金红石型TiO_2薄膜并通过原子层沉积法插入超薄SnO_2中间层
3. Microstructure and Interfaces of Ultra-Thin Epitaxial AlN Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition at Relatively Low Temperatures [J] . Ramasis Goswami, Syed Qadri, Neeraj Nepal, Coatings . 2021,第4期

机译：在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面
4. Low temperature copper-copper quasi-direct bonding with ultrathin platinum intermediate layer using atomic layer deposition [C] . Kosuke Yamada, Hiroyuki Kuwae, Takumi Kamibayashi, International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference . 2018

机译：原子层沉积与超薄铂中间层低温铜铜准直接键合
5. Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Cooper Seed Layers at Low Process Temperatures. [D] . Mao, Jiajun. 2012

机译：低工艺温度下库珀种子层的等离子体增强原子层沉积。
6. Breakthrough to Non-Vacuum Deposition of Single-Crystal Ultra-Thin Homogeneous Nanoparticle Layers: A Better Alternative to Chemical Bath Deposition and Atomic Layer Deposition [O] . Yu-Kuang Liao, Yung-Tsung Liu, Dan-Hua Hsieh, 2017

机译：单晶超薄均质纳米颗粒层的非真空沉积突破：化学浴沉积和原子层沉积的更好替代方法
7. Microstructure and Interfaces of Ultra-Thin Epitaxial AlN Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition at Relatively Low Temperatures [O] . Ramasis Goswami, Syed Qadri, Neeraj Nepal, 2021

机译：在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面

Low Temperature Copper-Copper Quasi-Di rect Bonding Utilizing Ultra-Thin Metal Interlayer Formation by Atomic Layer Deposition

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅