机译：使用喷墨印刷的氟碳图案作为掩模层的区域选择性原子层沉积
机译：使用聚（甲基丙烯酸甲酯）膜作为掩膜层的选择性区域原子层沉积
机译：金属氧化物薄膜在通过微接触印刷形成的图案化自组装单分子层上的选择性原子层沉积
机译：无图案的晶圆雾度作为薄膜厚度分布和原子层沉积沉积的晶圆晶圆组成的监测器
机译：在硅和石墨烯基底上通过原子层沉积生长的无机膜的纳米图案化和表征。
机译：组成界面和沉积顺序对原子层沉积在硅上生长的纳米Ta2O5-Al2O3薄膜电学性能的影响
机译：具有用于低温生长的微血管阵列的原子层沉积和图案化15185nm厚的Al2O3膜，具有低温生长和亚300nm横向特征分辨率
