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【2h】

Instability in In0.7Ga0.3As Quantum-Well MOSFETs with Single-Layer Al2O3 and Bi-Layer Al2O3/HfO2 Gate Stacks Caused by Charge Trapping under Positive Bias Temperature (PBT) Stress

机译:在In0.7ga0.3as的不稳定性,用单层AL2O3和双层AL2O3 / HFO2栅极堆叠在正偏置温度(PBT)应力下引起的单层AL2O3和双层AL2O3 / HFO2堆叠

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