RF plasma generation in the chamber with the conducting walls

机译：腔室中的射频在腔室中产生导电墙

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Andey Gavrikov; Sergey Kuzmichev; Gennadiy Lizyakin; Valentin Smirnov; Rinat Timirkhanov; Ravil Usmanov; Nazar Vorona;
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年度 2017
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