机译:NiSi / Si上的15纳米Ru扩散阻挡层,用于低于45 nm的Cu接触塞
机译:NiSi / Si上的15纳米Ru扩散阻挡层,用于低于45 nm的Cu接触塞
机译:钛包覆的镍硅的形成及其对铜扩散的阻挡性能
机译:Ti / TiN势垒金属化中NiSi共享触点的断开和NH
机译:对不常见的钛二元体系的评估:Ti-Zn,Ti-Cu和Ti-Sb。
机译:硼铝双重注入与微波退火相结合对NiSi / Si接触处肖特基势垒高度的调节
机译:具有Cu / Ti-Capping / NISI电极的P + / Njunction的电特性