首页> 外文OA文献 >High Sensitive Piezoresistive Cantilever MEMS Based Sensor by Introducing Stress Concentration Region (SCR)

【2h】

High Sensitive Piezoresistive Cantilever MEMS Based Sensor by Introducing Stress Concentration Region (SCR)

机译：通过引入应力集中区（SCR），基于高敏感的压阻性悬臂传感器

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Sh Mohd; Husna Omar; Ishak Abd;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2012
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Time response characteristics of a highly sensitive barometric pressure change sensor based on MEMS piezoresistive cantilevers [J] . Wada Ruka, Takahashi Hidetoshi Japanese journal of applied physics . 2020,第7期

机译：基于MEMS压阻性悬臂的高敏感气压变速传感器的时间响应特性
2. Highly sensitive and low-crosstalk angular acceleration sensor using mirror-symmetric liquid ring channels and MEMS piezoresistive cantilevers [J] . Takahashi Hidetoshi, Kan Tetsuo, Nakai Akihito, Sensors and Actuators, A. Physical . 2019,第期

机译：高敏感和低串扰角度加速度传感器，使用镜面对称液环通道和MEMS压阻悬臂
3. On the design of piezoresistive silicon cantilevers with stress concentration regions for scanning probe microscopy applications [J] . Bashir R., Neudeck GW., McElfresh M., Journal of Micromechanics and Microengineering . 2000,第4期

机译：具有应力集中区域的压阻硅悬臂梁的设计，用于扫描探针显微镜应用
4. Design and analysis of MEMS piezoresistive SiO2 cantilever-based sensor with stress concentration region for biosensing applications [C] . Rahim Rosminazuin Ab., Bais Badariah, Majlis Burhanuddin Yeop IEEE International Conference on Semiconductor Electronics . 2008

机译：MEMS压阻式SIO 悬臂传感器的设计与分析，具有用于生物传感应用的应力集中区域
5. Novel Cantilever Sensor for Antibody-based and hlyA gene-based Sensitive Detection of Foodborne Pathogen: Listeria monocytogenes [D] . Sharma, Harsh Pradipkumar. 2012

机译：新型悬臂传感器，用于基于抗体和基于hlyA基因的食源性致病菌敏感检测：单核细胞增生性李斯特菌
6. MEMS-Based Pulse Wave Sensor Utilizing a Piezoresistive Cantilever [O] . Thanh-Vinh Nguyen, Yuya Mizuki, Takuya Tsukagoshi, 2020

机译：利用压阻悬臂的基于MEMS的脉搏波传感器
7. On the design of piezoresistive silicon cantilevers with stress concentration regions for scanning probe microscopy applications [O] . A. Gupta, R. Bashir, G. W. Neudeck, 2015

机译：关于具有应力集中区域的压阻式硅悬臂梁的设计，用于扫描探针显微镜应用
8. Extremely Sensitive PZT-based MEMS Magnetometer for Use as an Orientation Sensor. [R] . Wickenden, D. K. 2003

机译：极其灵敏的基于pZT的mEms磁强计，用作定向传感器。

High Sensitive Piezoresistive Cantilever MEMS Based Sensor by Introducing Stress Concentration Region (SCR)

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅