机译:SiH4和NH3的射频调制辉光放电产生的氮化硅纳米粉
机译:使用SiH4-NH3-N2等离子体在室温下沉积氮化硅膜
机译:射频偏压对等离子体增强化学气相沉积法沉积在SiH4 sub> -NH3 sub>中的氮化硅膜的影响
机译:RF PECVD用于氢化硅锗沉积的SiH4 / GeH4 / H2气体放电的建模和实验研究
机译:血浆活性水的酸度来自非平衡等离子体放电和超氧化物的鉴定和氧化钛作为亚稳血浆酸的缀合物碱
机译:用于性能提高的表面电磁波生物传感器的氢化非晶硅氮化硅光子晶体
机译:在远程ar / H / sub 2 // siH / sub 4 /等离子体中形成阳离子硅簇的模型
机译:低压下直流电弧等离子体中N2,NH3或N2 + H2混合物对钛及其合金的氮化