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【2h】

Thin films-preparation, structure and properties. Preparation of .BETA.-ZrClN films by plasma CVD.

机译：薄膜制备，结构和性质。血浆CVD制备.Beta.-Zrcln薄膜。

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作者
Masao OHASHI; Shuji MIZOGUCHI; Shoji YAMANAKA; Makoto HATTORI;
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年度 1987
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