机译:批量生产的等离子刻蚀设备中因脉冲力突然产生的片状颗粒尺寸增加
机译:大量生产的等离子刻蚀设备中,电场应力的脉冲力和电致伸缩应力的作用导致许多片状颗粒
机译:作用于量产等离子刻蚀设备内壁上的电场应力脉冲力瞬时产生许多片状颗粒
机译:使用负载阻抗监测系统的用于在大规模生产的等离子蚀刻工艺中监测沉积膜引起颗粒的方法
机译:电子束生成等离子体中高级抗蚀剂蚀刻的比较。
机译:使用Y2O3和YF3保护涂层的量产CF4 / O2等离子腔室中的腐蚀行为和颗粒污染的比较
机译:通过通过薄片粉末冶金控制石墨薄片/ Al复合材料中石墨薄片的倾斜角度
机译:通过加热热颗粒在TaNDEm mIRROR等离子体中产生ENG插头电位,从而避免低密度端部阻塞等离子体