机译:H原子与SiH_4固态薄膜在10 K下的低温隧穿反应形成非晶硅
机译:H原子与SiH_4固态薄膜在10 K下的低温隧穿反应形成非晶硅
机译:用于完全硅化的栅极应用的薄膜Ni /多晶硅反应中的瞬态和末端硅化物相形成
机译:Ni硅化物在360℃下玻璃上的无定形硅薄膜的结晶
机译:铬非晶硅多层膜中颗粒金属薄膜的力学性能和硅化物形成的动力学
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:H封端硅表面上的反应过程。氢封端硅表面对镍硅形成的控制。
机译:通过低温诱导的金属原子与离子注入的非晶硅反应形成薄的Ni硅化物