机译:横向静电驱动直流接触RF MEMS系列开关的非线性激励模型
机译:用于RF开关的基于V形的V形金属的热驱动MEMS致动器的非线性动态模型
机译:通过SOG工艺制造的横向驱动内部驱动RF MEMS开关
机译:侧向静电驱动直流接触RF MEMS系列开关的非线性驱动模型
机译:使用钛酸锆钛酸铅(PZT)薄膜致动器的RF MEMS系列开关的设计,制造,测试和评估
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:横向静电驱动直流电致动RF MEMS系列开关的非线性致动模型
机译:压电驱动RF mEms开关上金/铂和金/钌接触的比较