机译：纳米结构绝对压力传感器的完全互补金属氧化物半导体兼容集成
机译：无结构硅在开发新型电容式绝对压力传感器中的应用
机译：封装压阻式压力传感器，以在很宽的低于零温度范围内测量低绝对压力
机译：用于表征纳米级传感器系统的测试环境，该系统包括基于热飞行时间（TToF）原理的流体流量传感器和绝对压力传感器
机译：具有集成MEMS压力传感器的微通道中结构化粗糙度的设计和制造。
机译：具有用于绝对压力感测的集成真空腔的低温漂移声波压力传感器
机译：低温漂移声波压力传感器，具有集成真空腔，用于绝对压力传感
机译：绝对气体压力比传感器
