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Fabrication of Textured DLC Films Using Three-Dimensional Masking System

机译：使用三维掩模系统制造纹理的DLC薄膜

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作者
Mai TAKASHIMA; Kei KANZAWA; Shin MATSUO; Makoto MATSUO; Yoshinao IWAMOTO; Naoto OHTAKE;
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年度 2011
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1. Fabrication of Textured DLC Films Using Three-Dimensional Masking System [J] . Mai TAKASHIMA, Kei KANZAWA, Shin MATSUO, Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering . 2011,第12期

机译：使用三维掩膜系统制作带纹理的DLC膜
2. Application of DLC films as masks for integrated circuit fabrication [J] . Kenji K. Hirakuri, Masayuki Yoshimura, Gernot Friedbacher Diamond and Related Materials . 2003,第3a7期

机译：DLC膜作为集成电路制造中的掩模的应用
3. Application of DLC films as masks for integrated circuit fabrication [J] . Kenji K. Hirakuri, Masayuki Yoshimura, Gernot Friedbacher Diamond and Related Materials . 2003,第3a7期

机译：DLC膜作为集成电路制造中的掩模的应用
4. Fabrication of Three-Dimensional Microstructures by One-Step Lithography with Multi-Film Thickness Mask [C] . Nithi Atthi, Chuckaphun Aramphongphun, Patcharaporn Yanpirat, International Conference on Electrical Engineering/Electronics, Computer, Telecommunications and Information Technology . 2008

机译：用多膜厚度掩模通过一步光刻制造三维微结构
5. Laser holographic fabrication of three-dimensional photonic crystal templates using advanced phase mask techniques [D] . Xu, Di 2010

机译：使用先进的相位掩膜技术对三维光子晶体模板进行激光全息制造
6. Smooth anti-reflective three-dimensional textures for liquid phase crystallized silicon thin-film solar cells on glass [O] . David Eisenhauer, Grit Köppel, Klaus Jäger, -1

机译：玻璃上的液相结晶硅薄膜太阳能电池的光滑抗反射三维纹理
7. Application of spray deposition techniques for fabrication of Sm-doped CeO2 thin films on biaxially textured Ni-W substrate [O] . Al Ibrahim Ali, Ilyushechkin Alexander, Rossiter James, 2015

机译：喷涂技术在双轴织构Ni-W衬底上制备掺Sm的CeO2薄膜的应用
8. Fabrication of high critical current density superconducting tapes by epitaxial deposition of YBCO thick films on biaxially textured metal substrates [R] . Goyal, A. , Norton, D. P. , Paranthaman, M. 1996

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