机译:通过脉冲激光沉积,磁控溅射和CVD沉积在微晶硅晶片上的铝薄膜的一致性
机译:通过脉冲激光沉积,磁控溅射和CVD ? sup>沉积在微晶硅晶片上的铝薄膜的一致性
机译:在单晶片热化学气相沉积室中沉积的氮化硅薄膜的图案依赖性微负载和台阶覆盖
机译:在钝化了氢化非晶硅膜的p型和n型硅晶片上的表面复合速度非常低
机译:通过热化学气相沉积(CVD)在图案化的硅晶片上生长碳纳米管。
机译:硅晶片上Bi-Te薄膜的电沉积以及微孔玻璃模板上的微柱阵列
机译:微孔玻璃模板上硅晶片和微柱阵列的Bi-TE薄膜电沉积