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【2h】

Pumping Speed of Parallel-Louvre-Blind-Type Cryopumps. Hydrogen Pumping Speed of Cryopump with Multiple Parallel Mounted Panels.

机译：泵送平行套盲型乳沟。带有多个并联安装面板的低温泵的氢气泵送速度。

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Norihide Saho; Hisanao Ogata; Yosifumi Kunugi; Taisei Uede; Yasuo Yamasita; Hiroyuki Kawakami;
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年度 1993
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