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Vertically tapered layers for optical applications fabricated using resist reflow

机译：用于使用抗蚀剂回流制造的光学应用的垂直锥形层

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作者
A Emadi; H Wu; S Grabarnik; G de Graaf; R F Wolffenbuttel;
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年度 2009
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1. Vertically tapered layers for optical applications fabricated using resist reflow [J] . A. Emadi, H. Wu, S. Grabarnik, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2009,第7期

机译：使用抗蚀剂回流制造的光学应用的垂直锥形层
2. Design of a thin film for optical applications, consisting of high and low refractive index multilayers, fabricated by a layer-by-layer self-assembly method [J] . Kim JH, Fujita S, Shiratori S Colloids and Surfaces, A. Physicochemical and Engineering Aspects . 2006,第0期

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3. Tapered aluminum-doped vertical zinc oxide nanorod arrays as light coupling layer for solar energy applications [J] . Chen J., Ye H., Aé L., Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion . 2011,第6期

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4. Vertical mirrors fabricated by reactive ion etching for fiber optical switching applications [C] . Marxer, C., Gretillat, . 1997

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5. Investigating Quantum Oscillations in the Thermal Coefficient of Resistivity of Ultra-thin Ag Capping Layers on Cu for IC Interconnect Applications. [D] . Tatem, Elroy. 2014

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6. Single-Mode Tapered Vertical SU-8 Waveguide Fabricated by E-Beam Lithography for Analyte Sensing [O] . Yu Xin, Gregory Pandraud, Yongmeng Zhang, 2019

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