机译:等离子体辅助原子层沉积过程中的衬底偏置,以调整金属氧化物薄膜的生长
机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积低温生长纤锌矿InxGa1-xN薄膜
机译:在低温下空心阴极等离子体辅助原子层沉积晶体AlN,GaN和Al_xGa_(1-x)N薄膜
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:通过原子层沉积制备的各种衬底和ZnO超薄种子层对ZnO纳米线阵列生长的影响的研究
机译:三甲基镓和三乙基镓作为“ ga”源材料的比较,这些材料用于通过空心阴极等离子体辅助原子层沉积在Si(100)衬底上生长超薄GaN膜
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究