机译:基于钝化层的形成,铜金属化学机械抛光过程的模型
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机译:微观结构对薄膜金属化学机械抛光过程的影响
机译:互补金属氧化物半导体兼容器件的化学机械抛光和旋涂介电层间介电层的研究
机译:高效抛光超光滑表面的新型圆盘流体动力抛光工艺和工具
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机译:高强度,高温金属和合金的电极抛光和化学抛光